23/03/2021 - Etude des différentes conditions de recuit pour l’intégration d’un modulateur capacitif Si dans un composant photonique sur silicium en fabrication 300 mm

Share on:

Les modulateurs photoniques en silicium sont des composants clé pour les émetteurs électro-optiques au sein des centres de données. Les modulateurs capacitifs fonctionnant en régime d’accumulation permettent notamment de réduire la consommation énergétique de modulation. Dans le cadre du programme Nanoelec / Photonics Sensors, Ismael Charlet & al. (CEA-Leti & CNRS & STMIcroelectronics) ont étudié les caractéristiques de modulateurs capacitifs en silicium. Les modulateurs sont fabriqués au sein d’une plateforme photonique standard de 300 mm avec seulement quelques étapes de fabrication supplémentaires. Ils ont montré que les conditions de recuit atmosphérique et les conditions de recuit au laser nanoseconde, appliquées lors de la formation du silicium polycristallin, améliorent les bandes passantes des modulateurs fabriqués.

Resultats présentés à Photonics West 2021.